2025-08-12 10:02:33 0
全自動單瓶特氣柜的特點講解。全自動單瓶特氣柜是專為存儲和管理單瓶特種氣體設計的設備,廣泛應用于半導體、LED、光伏太陽能、生物醫藥等對氣體純度和安全性要求極高的行業。其核心特點可歸納為以下幾個方面:
一、安全防護:多重保障,無懈可擊
防爆設計
柜體采用防爆材質(如SS316L不銹鋼)和防爆自鎖門,搭配防爆玻璃觀察窗,確保在氣體泄漏或爆炸風險下仍能保持結構完整,防止火源或腐蝕性物質侵入。
泄漏監測與報警
內置高精度氣體泄漏探測器,實時監測柜內氣體濃度。一旦檢測到泄漏,立即觸發聲光報警,并通過短信或電話通知操作人員,同時自動啟動排風系統,將泄漏氣體排出室外。
緊急切斷功能
當設定報警信號被觸發(如氣體濃度超標、壓力異常等),系統會自動切斷氣體供應,防止事故擴大。部分型號還支持遠程緊急切斷,提升應急響應速度。
防爆電控箱與高溫報警
電控箱采用防爆設計,避免電氣火花引發危險;高溫探測報警功能可實時監測柜內溫度,防止因過熱導致氣體分解或爆炸。
二、高效管理:智能控制,精準操作
PLC控制系統
以可編程邏輯控制器(PLC)為核心,搭配觸摸屏人機界面,實現設備自動化運行。操作人員可通過觸摸屏設定參數、監控狀態,并一鍵執行吹掃、切換、報警確認等操作,大幅簡化流程。
自動吹掃與切換
支持自動吹掃功能,在更換氣瓶或設備啟動前,用惰性氣體(如氮氣)清空管路,防止交叉污染;自動切換功能確保當氣瓶壓力低于設定值時,系統自動切換至備用氣瓶,實現不間斷供氣。
遠程監控與操作
通過網絡或硬件接口,可將設備狀態(如操作狀況、報警信息、供氣壓力等)上傳至中控系統,實現遠程監控和操作。部分型號還支持手機APP控制,方便管理人員隨時掌握設備運行情況。
數據記錄與追溯
系統詳細記錄所有報警信息,包括報警時間、結束時間、確認時間及信息摘要,便于后續分析和追溯。同時支持操作日志記錄,確保每一步操作都可查可控。
三、高純輸出:精密過濾,純凈保障
多級過濾系統
內置前端0.1μm過濾器和后端0.001μm終端過濾器,有效去除氣體中的顆粒、水分和雜質,確保輸出氣體純度達到行業最高標準(如9N以上),滿足半導體制造等高精度工藝需求。
穩壓穩流技術
采用先進的穩壓穩流技術,確保輸出氣體的壓力和流量恒定,不受外界因素(如氣瓶壓力下降、環境溫度變化)干擾,保障工藝穩定性。
四、穩定運行:可靠設計,持久耐用
高穩定性控制主體
PLC控制系統動作可靠,故障率低,確保設備長期穩定運行。部分型號采用三菱PLC系統,具備快速服務、備件支持、在線技術支持等優勢。
抗干擾性強
全封閉式金屬箱體設計,有效屏蔽外界電磁干擾,保障設備在復雜工業環境中穩定工作。
模塊化設計
面板部件采用模塊化結構,便于維護和升級。所有接口均采用VCR接口,確保密封性和可靠性,減少泄漏風險。
五、定制化服務:靈活適配,滿足多樣需求
選配功能豐富
可根據用戶需求選配工藝氣瓶重量監控器、工藝氣體超壓報警、盤面加熱及溫控裝置、報警信號手機短信與電話通知等功能,提升設備適用性。
支持特殊氣體存儲
適應燃爆性氣體(如氫氣、甲烷、乙炔)和毒腐性氣體(如二氧化硫、硫化氫、氯化氫)的存儲需求,通過特殊材質和安全設計,確保危險氣體安全可控。
行業定制化方案
針對不同行業(如半導體、光伏、生物醫藥)的特殊需求,提供定制化解決方案,包括柜體尺寸、材質選擇、內部布局、氣體種類及純度要求等,確保設備與具體工作流程無縫對接。
六、應用場景:廣泛覆蓋,助力產業升級
全自動單瓶特氣柜廣泛應用于以下領域:
半導體制造:為MOCVD、PECVD、刻蝕機等設備提供高純度、穩定供應的特種氣體。
光伏太陽能電池:支持硅材料生長、電池片制造等工藝對特種氣體的需求。
生物醫藥工程:為實驗室或生產線提供純凈、安全的特種氣體,保障實驗結果和生產質量。
材料分析實驗室:滿足高精度分析儀器對氣體純度和穩定性的要求。